O3-Sensor

Ein Halbleiter-Ozonsensor nutzt einen Metalloxidfilm (z. B. auf SnO₂-Basis oder proprietäre Mischoxide), dessen Oberflächenchemie sich in Gegenwart von Ozon (O₃) verändert. Ozon ist ein starkes Oxidationsmittel; bei der Wechselwirkung mit adsorbierten Sauerstoffspezies auf der MOS-Oberfläche ändert sich die Ladungsträgerdichte und damit der Filmwiderstand. Durch Anlegen einer Vorspannung an die Sensorschicht und Messung des Widerstands (oder einer konditionierten Spannung) erhält man ein Signal, das mit der O₃-Konzentration korreliert.

Ein elektrochemischer (EC) Ozonsensor wandelt die O₃-Konzentration durch eine kontrollierte Redoxreaktion an einer katalytischen Elektrode in einen winzigen elektrischen Strom um. Da der Strom proportional zum Ozonpartialdruck ist, zeichnen sich EC-Sensoren durch hohe Empfindlichkeit (ppb–ppm), gute Linearität, geringen Stromverbrauch und kompakte Bauweise aus und eignen sich daher ideal für stationäre Messumformer, tragbare/am Körper tragbare Messgeräte und Regelungstechnik.

Ein O₃-Sensor misst die Konzentration von Ozon, einem reaktiven Oxidationsmittel, das zur Desinfektion, Geruchsbekämpfung und Wasseraufbereitung eingesetzt wird, aber in erhöhten Konzentrationen schädlich für Mensch und Material ist. Genaue Messungen sind unerlässlich, um Mitarbeiter zu schützen, die Raumluftqualität aufrechtzuerhalten, Desinfektionszyklen zu überprüfen und die behördlichen Meldepflichten für die Umgebungsluftüberwachung zu erfüllen.